UV曝光機相關零配件
(一)石英吸真空基板、強化玻璃吸真空基板
(二)ODF面板貼合製程專用吸真空基板MASK BASE
(三)負壓光罩
(四)透氣陶瓷基板、透氣陶瓷基板整修
(五)濾光片滑軌移載機構
(六)PLC滑軌控制器
(七)遮光器Shutter
(八)均勻度修正模組:
ASML曝光機GF均勻度修正模組
ASML曝光機DGF均勻度修正模組
ASML曝光機Unicom均勻度修正模組
ASML曝光機GF均勻度修正模組
ASML曝光機DGF均勻度修正模組
ASML曝光機Unicom均勻度修正模組