雷射反射鏡
高能量準分子雷射對於反射鏡鏡片基板的表面加工精度非常要求,裕群光電針對雷射光專用之光學鏡片,材料選用紫外線級熔融石英基材,並經過特別的優選,並且於拋光加工時對於基板粗糙度、規則度進行嚴苛的控制,製造出熱穩定性高、耐用度高與低波前畸變的基板。
此雷射等級的高品質基材,最高S/D可達 10-5的表面光潔度品質,反射鍍膜層可依客戶需求波長設計,提供指定波段最佳的反射率,基板的表面與介電質薄膜緊密結合,可承受極高的雷射損傷閾值,本產品適用於各種型式的雷射源,可將散射損失降到最低且具有出色的耐用度表現。
規格表
材料 | 石英Fused silica、藍寶石Sapphire、客戶指定材料 |
尺寸 | 2mm~1800mm |
曲率半徑 | 依客戶指定 |
Low grade | General grade | High grade | |
尺寸公差 | +/-0.1 | ±0.05mm | ±0.01mm |
表面品質S/D | 40/20 | 20/10 | 10/5 |
面精度 | 1/4λ | 1/4λ | 1/10λ |
曲率半徑公差 | R/300 | R/500 | R/1000 |
厚度公差 | +/-0.1 | ±0.05mm | ±0.01mm |
有效區域 | 90% | 95% | 100% |
偏心量 | 1' | 30'' | 15'' |
鍍膜 | 多層介電質膜 依客戶指定光譜鍍膜 |
多層介電質膜 依客戶指定光譜鍍膜 |
多層介電質膜 依客戶指定光譜鍍膜 |