真空吸著基板
石英材質基板被廣泛應用於光學及光電產業，因為高純度、無雜質、無氣泡等級的石英基板材料，具有優異的UV波段光學穿透性能，能生產精度高的高品質石英基板，再加上具耐腐蝕、耐高溫的特性，石英基板常應用於UV波段之曝光系統元件。
石英基板-專業製造石英材質真空吸著基板
裕群光電專營Fused Silica熔融石英、Synthetic Quartz合成石英材質、Sapphire藍寶石、超白玻璃材質、SodaLime商用青板玻璃材質、陶瓷材質、SiC碳化矽材質(碳化硅)所製成之吸著真空石英基板，品質優良高效率，致力提供您更好的石英材質基板，成為您的石英基板廠商首選，歡迎您來電裕群光電諮詢。 石英基板/石英材質真空吸著基板的外型塑造須歷經CNC成型、光學研磨、光學拋光、貼合、金屬機構件、真空吸著管路組裝等生產過程，透過嚴謹的製造工序與過程，成就出品質優異的石英材質基板產品。石英基板產品特色：
- 圓型產品拋光尺寸可達直徑5000mm，方型產品拋光尺寸可達3500mm x 3500mm
- 提供可見光波段產品，亦可選用光學玻璃材質製作高精度石英基板
- 石英材質基板適用於UV紫外光波段，具UV紫外光波段高穿透特性，可大幅減低UV能量耗損
- 石英材質具有低膨脹系數的特性，相較於一般玻璃更不易變型
- 高精度石英基板平行度可達秒級，平坦度可達2um（視材質、尺寸、形狀、厚度而定）
- 小尺寸石英基板吸著溝槽寬度可小至300um、溝槽深度可達200um
- 大尺寸石英基板吸著溝槽可做拋光處理
- 長方型的石英基板也可以研磨拋光
- 可使用膠合方式固定通氣流道及通氣管路
