精密光學平板玻璃(標準片)
精密光學平板玻璃經過高精度的研磨拋光，因此具有良好的表面平坦度，是干涉測量、成像系統、雷射應用、自動校準的最佳選擇。
精密光學平板玻璃大多採用低膨脹系數的材質，例如：ZERODUR零膨脹微晶玻璃、CLEARCERAM™-Z零膨脹微晶玻璃、Fused Silica熔融石英，ZERODUR是德國SCHOTT開發的黃色微晶陶瓷玻璃，在注重溫度波動的應用中可提供良好的熱穩定性，Fused Silica熔融石英則具備透光性、較高的耐磨性、耐久性，在惡劣的使用環境中，或磨損為主要因素的應用中，Fused Silica熔融石英是相當理想的選擇。
精密光學平板玻璃（標準片）規格表
| 材料 | ZERODUR零膨脹微晶玻璃、CLEARCERAM™-Z零膨脹微晶玻璃、Fused Silica熔融石英 |
| 尺寸 | 10mm~310mm |
| Low grade | General grade | High grade | |
| 尺寸公差 | +/-1mm | ±0.5mm | ±0.2mm |
| 表面品質 | 60/40 | 40/20 | 20/10 |
| 平行度 | 3’ | 1’ | 30” |
| 平坦度 | 1/4λ@ 633nm | λ/10 @ 633nm | λ/20 @ 633nm |
|
厚度公差 |
±0.8mm | ±0.5mm | ±0.1mm |
