UV曝光机光学
曝光机是製造微机电、光电、二极体大规模积体电路的关键影像转移设备,在生产积体电路的过程中,曝光机扮演把积体电路线路图案转换到晶片上去的角色,线路尺寸已达奈米等级。曝光机主要原理是利用紫外线通过光罩、底片等图案模版,并搭配显影剂使用,去除晶圆表面的光阻,以形成积体电路图案。
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UV曝光机镜片性能检测
(可对应波段范围:200nm以上)
裕群光电自行开发专用软体及专利量测仪器,客户不需将设备移出厂外,只需由本公司专业服务人员携带检测仪器至现地,即可将设备进行现场量测分析,透过科学量测与数据分析,可立即判断镜片性能是否有异常或老化现象,判断结果可作为设备保养维修及镜片更换之参考,此量测服务近3年来已获得国内外众多知名企业肯定,此镜片性能检测运用于半导体产业、封装测试产业、PCB印刷电路板产业、LCD面板产业量测实绩已达350台以上。
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UV曝光机光学镜片逆向工程
本公司具备完整的光学量测仪器,可分析镜片材质、镜片光谱、镀膜光谱、镜片尺寸、镜片焦距、镜片精度等参数,并可配合光学模拟软体重新建构光学路径,以验证镜组量测误差,可大幅缩短研发时程、降低失败风险及研发成本。
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UV曝光机镜片性能提昇
(一)本公司可透过镜片精度优化,提昇镜组解析度。
(二)本公司可透过薄膜设计及镀膜优化,增加镜片之反射率反穿透率,以达到能量提昇之目的。
(三)本公司可将光学镜片重新设计,使其均匀度优化。 -
UV低压汞灯散射光抛物面反射镜片
裕群光电成功开发UV低压汞灯散射光源之抛物面耐高温玻璃反射镜片,此产品于凹面抛物面镀上UV冷光反射膜,汞灯发散之热能可直接穿透镜片,可大幅降低照射区域温度,也因此不易造成软性塑胶或塑胶膜变型及热缩,此产品配合UV Pass滤光镜一起运用效果更佳,此产品大量运用于印刷产业UV油墨固化製程、TFT LCD面板贴合固化等製程。
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UV Pass滤光镜片
UV Pass滤光镜片只让UV波段穿透,可将汞灯发散之热能直接反射回灯箱,可大幅降低照射区域温度,也因此不易造成软性塑胶或塑胶膜变型及热缩,配合UV低压汞灯抛物面反射镜一起运用效果更佳,此产品大量运用于印刷产业UV油墨固化製程、TFT LCD面板贴合固化等製程。
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UV LED散射光模组
裕群光电针对散射光模组开发单一波长及多波长溷光之UV LED模组,可运于PCB散射光曝光机、TOUCH固化製程、玻璃贴合等製程,可将传统汞灯光源改为LED光源,可大幅减少汞灯耗材及用电量。产品内容包含:UV LED模组、电源供应器、机构件、电子控制系统、线材等,可依客制化需求规格製作。
近年来曝光製程快速发展,UV曝光机设备使用者除了产能、产速压力不断攀升外,设备老化后的维修费用、维修即时性、维修自主性就成为公司竞争力的关键,为加强曝光机设备利用率与成本控管,对于曝光机设备关键光学元件在地化的需求急速增加。有鑑于此,裕群光电配合客户在台湾建立光学元件供应键,开发高阶UV曝光机设备、镜片及光学元件,成为拥有自主维修技术的光学镜头厂商,近10年来已成功开发多项国际知名品牌高阶曝光机设备镜头,可提供UV曝光机镜片、镜头等相关设备的新品设计开发、中古设备改造及中古设备旧品翻修等服务。
裕群光电累积30年以上光学镜片加工製造经验,为国内少数具有大型研磨抛光加工设备及镀膜设备的光学镜片厂商(镜片抛光直径可达5公尺),可提供完整的高阶光学系统设计、镜片製造、镜片安装、光学路径调校、曝光能量照度提昇、曝光均匀度调整等服务,能协助设备厂商自主化生产高难度、高精度之设备光学元件,使客户不再受到国外厂商侷限,亦可藉由曝光机及相关设备的製造与维修国产化,为台湾产业开创在地化服务,以协助国内厂商提升设备使用弹性、提升产速并大幅降低维修成本,促进上下游光学关键零组件在地化发展。